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德国Leybold真空计常见种类都有哪些呢
点击次数:34 发布时间:2021-09-07
   德国Leybold真空计是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空仪测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空仪。
  德国Leybold真空计常见种类有下面这些:
  1.热传导真空仪
  利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空仪中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。如用一附加的热偶测量热丝的温度,则这种规头称为热偶规;如利用热丝本身的电阻值来反映温度,则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P<100帕)下随压强变化,而低至10-1帕时气体热传导又不是主要的散热方式,因此热传导真空仪主要用于100~10-1帕范围,采取特殊措施可扩大测量范围。
  2.皮拉尼真空仪
  其工作原理是:真空度不同,单位体积内的空气分子数就不同,对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同,电阻丝温度就不同,因为电阻丝的电阻率是温度的函数,所以不同的真空度就引起了电阻率的不同,则电阻就不同,电流在电阻丝上的压降就不同,根据电压的变化就能换算出空气压强,也就是测量真空度。
  3.电容薄膜真空仪
  电容薄膜真空仪也是德国Leybold真空计的一种,它属弹性元件真空仪,弹性薄膜将规管真空室分为两个小室,即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时,参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时,薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极,它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变,通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变,通常采用零位法测量,即在固定电极和薄膜之间加一直流电压,利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力,使膜片保持零位。电容薄膜真空仪可直接测量气体或蒸气的压强,测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤,如对不同压强范围采用不同规头,可得到较高精度。电容薄膜真空仪可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制,也可用作低真空测量的副标准。
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